工業(yè)超純水設備對促進半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有積極意義
半導體是一項涉及高新技術(shù)、具有高附加值和帶動性的產(chǎn)業(yè),涉及芯片設計、設備制造、新能源開發(fā)等多個領(lǐng)域,對于促進國家工業(yè)經(jīng)濟發(fā)展、提高國家科技水平在國際中的競爭力等方面有十分重要的作用。隨著全球半導體產(chǎn)業(yè)大發(fā)展,我國對半導體的重視和大力開發(fā)也成為了工業(yè)生產(chǎn)中的重要工作之一。在我國政府的各項扶持政策支持和企業(yè)人才持之以恒的研究下,我國在半導體生產(chǎn)制造和出口上取得了一定成績,提高了我國的國際影響力。
半導體產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展離不開高質(zhì)量的超純水支持。超純水在半導體清洗、切割、蝕刻等加工工藝中發(fā)揮了關(guān)鍵作用。由于超純水的純度高,幾乎除去了水分子之外的所有成分,它對產(chǎn)品質(zhì)量基本無影響,能充分保障產(chǎn)品的功能可靠性。采用工業(yè)超純水設備可以生產(chǎn)出質(zhì)量可靠的超純水。該設備采用了雙級反滲透和EDI技術(shù)組成了核心生產(chǎn)工藝,生產(chǎn)出的超純水純度高、電阻率可達16 MΩ*cm(25℃)。
反滲透膜是實現(xiàn)水中雜質(zhì)和水分子分離的關(guān)鍵技術(shù)。反滲透膜擁有納米級的膜孔徑和強大的抗污染能力,原水經(jīng)過加壓驅(qū)動進入到反滲透膜中,其含有的有機物、金屬離子、礦物質(zhì)、細菌等就會被膜截留。反滲透膜的水滲透效果好,在保障水分子較大通量的同時,不易被雜質(zhì)堵塞。
在反滲透之后使用EDI技術(shù)可以實現(xiàn)超純水深度脫鹽。EDI進水是二級反滲透產(chǎn)水,水質(zhì)較好,脫鹽后濃水水質(zhì)仍舊能夠優(yōu)于一級反滲透產(chǎn)水,可回流至一級反滲透產(chǎn)水箱。
工業(yè)超純水設備具有生產(chǎn)質(zhì)量穩(wěn)定、無酸堿再生、體積小、自動化強的優(yōu)點。它還采用了智能化程序設計,操作更加靈活,可根據(jù)具體需求調(diào)整運行參數(shù),方便快捷,能為半導體生產(chǎn)穩(wěn)定供水。
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編輯:新奇 技術(shù):加菲
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